Parts de quars

El quars encara és omnipresent en el processament de semiconductors. No és nou, però és fiable i la majoria de fàbriques coneixen el seu comportament. Sempre que es controli la puresa, funciona bé en les etapes de difusió, oxidació i neteja.

Moltes peces de quars s'utilitzen en sistemes de forns o eines PECVD. La principal expectativa és l'estabilitat, no necessàriament una llarga vida útil, sinó un rendiment predictible. Això sol ser suficient per a molts processos estàndard.

Per descomptat, el quars té els seus límits. Es pot desgastar més ràpidament en certes condicions, sobretot en comparació amb el SiC. Però com que és relativament fàcil d'obtenir i no massa car, la gent encara l'utilitza força.