Gresol recobert de carbur de tàntal
El gresol recobert de carbur de tàntal (TaC) de Semixlab està especialment dissenyat per a entorns d'alta temperatura i químicament agressius en el processament de semiconductors. Dissenyat amb un recobriment dens de TaC CVD, el gresol ofereix una resistència tèrmica, protecció contra la corrosió i estabilitat estructural excepcionals, cosa que el fa ideal per a aplicacions d'epitàxia de SiC, creixement de GaN i CVD/ALD. Milloreu la fiabilitat del vostre procés i reduïu els riscos de contaminació amb la nostra tecnologia de gresol premium.
Descripció
Serveis de Semixlab
A Semixlab, entenem els requisits únics dels entorns de producció i R+D de semiconductors. Oferim:
● Serveis de fabricació a mida
Gresols fets a mida en diverses geometries, gruixos i especificacions de recobriment per satisfer les necessitats específiques del procés.
● Comandes de petits lots i prototips
Quantitats de comanda flexibles ideals per a línies pilot, recerca acadèmica o desenvolupament en fase inicial.
● Terminis de lliurament ràpids i lliurament global
Els cicles de producció ràpids i l'enviament a tot el món donen suport al vostre calendari i a les vostres necessitats d'escalat.
Especificacions
| Propietats físiques del recobriment de TaC | |
| Densitat | 14.3 (g/cm³) |
| Emissivitat específica | 0.3 |
| Coeficient d'expansió tèrmica | 6.3*10-6/K |
| Duresa (HK) | 2000 HK |
| Resistència | 1 × 10-5 Ohm*cm |
| Estabilitat tèrmica | <2500 ℃ |
| La mida del grafit canvia | -10~-20um |
| Gruix de recobriment | ≥20um valor típic (35um±10um) |
Aplicacions
Combinant els avantatges físics únics dels recobriments tac amb les excel·lents propietats del grafit premium, el nostre gresol recobert de carbur de tàntal s'utilitza principalment en els següents processos de semiconductors:
▶ Sistemes de crisol MOCVD i HVPE
▶ Creixement epitaxial de SiC, GaN, GaAs
▶ Recuit i fusió a alta temperatura
▶ Equipament avançat per a la fabricació de galetes
El gresol recobert de TaC de Semixlab juga un paper fonamental en la fabricació de semiconductors avançats, especialment en processos que requereixen estabilitat a temperatures ultra altes, contaminació mínima i resistència química, com ara l'epitàxia, el creixement de cristalls i la deposició química de vapor (CVD). En proporcionar una barrera químicament inert i una resistència tèrmica excepcional, els gresols recoberts de TaC garanteixen la integritat del procés, la puresa del material i la longevitat dels equips en diverses etapes de fabricació d'alta demanda.
Amb dimensions personalitzables, gruixos de recobriment i suport per a lots petits, Semixlab ofereix solucions a mida per satisfer les demandes de la fabricació de semiconductors avançats. Esperem sincerament convertir-nos en el vostre soci a llarg termini a la Xina.
avantatge competitiu
Avantatges clau: les propietats físiques del carbur de tàntal
El carbur de tàntal (TaC) és conegut pel seu punt de fusió ultra alt (~3880 °C), la seva duresa excepcional i la seva inertícia química, cosa que el converteix en un recobriment protector ideal per a gresols de grafit utilitzats en entorns semiconductors. L'aplicació del recobriment de TaC aporta els següents avantatges de rendiment:
● Resistència tèrmica extrema
Suporten temperatures ultra altes sense deformació ni degradació, permetent condicions estables per al creixement de cristalls i el processament a alta temperatura.
● Inertisme químic
Resistent a gasos i àcids agressius basats en halògens que s'utilitzen típicament en processos d'epitàxia i gravat, evitant la contaminació creuada.
● Generació mínima de partícules
La superfície densa i llisa de la capa de TaC suprimeix la descamació i el despreniment de partícules, garantint taxes de defectes baixes en entorns de sala blanca.
● Excel·lent conductivitat tèrmica
Assegura una distribució uniforme de la calor durant el processament del material, millorant el rendiment i la consistència.
Materials bàsics dels principals proveïdors
Els nostres gresols es fabriquen amb substrats de grafit d'alta puresa procedents de proveïdors de primer nivell com ara TOYO TANSO (Japó), cosa que garanteix la integritat estructural i la compatibilitat del recobriment. La sinergia entre el grafit premium i el recobriment avançat de TaC millora tant la durabilitat com el rendiment en les condicions més exigents.
els nostres serveis

Botiga de productes Semixlab


EN
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ




