Tots els pobles
Recobriment CVD de carbur de tantal (TaC).

Recobriment CVD de carbur de tantal (TaC).

Inici> Productes > Recobriment CVD > Recobriment CVD de carbur de tantal (TaC).

Gresol recobert de carbur de tàntal
Gresol recobert de carbur de tàntal

Gresol recobert de carbur de tàntal


El gresol recobert de carbur de tàntal (TaC) de Semixlab està especialment dissenyat per a entorns d'alta temperatura i químicament agressius en el processament de semiconductors. Dissenyat amb un recobriment dens de TaC CVD, el gresol ofereix una resistència tèrmica, protecció contra la corrosió i estabilitat estructural excepcionals, cosa que el fa ideal per a aplicacions d'epitàxia de SiC, creixement de GaN i CVD/ALD. Milloreu la fiabilitat del vostre procés i reduïu els riscos de contaminació amb la nostra tecnologia de gresol premium.

Descripció

Serveis de Semixlab

A Semixlab, entenem els requisits únics dels entorns de producció i R+D de semiconductors. Oferim:

● Serveis de fabricació a mida

Gresols fets a mida en diverses geometries, gruixos i especificacions de recobriment per satisfer les necessitats específiques del procés.

● Comandes de petits lots i prototips

Quantitats de comanda flexibles ideals per a línies pilot, recerca acadèmica o desenvolupament en fase inicial.

● Terminis de lliurament ràpids i lliurament global

Els cicles de producció ràpids i l'enviament a tot el món donen suport al vostre calendari i a les vostres necessitats d'escalat.

Especificacions
Propietats físiques del recobriment de TaC
Densitat 14.3 (g/cm³)
Emissivitat específica 0.3
Coeficient d'expansió tèrmica 6.3*10-6/K
Duresa (HK) 2000 HK
Resistència 1 × 10-5 Ohm*cm
Estabilitat tèrmica <2500 ℃
La mida del grafit canvia -10~-20um
Gruix de recobriment ≥20um valor típic (35um±10um)
Aplicacions

Combinant els avantatges físics únics dels recobriments tac amb les excel·lents propietats del grafit premium, el nostre gresol recobert de carbur de tàntal s'utilitza principalment en els següents processos de semiconductors:

▶ Sistemes de crisol MOCVD i HVPE

▶ Creixement epitaxial de SiC, GaN, GaAs

▶ Recuit i fusió a alta temperatura

▶ Equipament avançat per a la fabricació de galetes

El gresol recobert de TaC de Semixlab juga un paper fonamental en la fabricació de semiconductors avançats, especialment en processos que requereixen estabilitat a temperatures ultra altes, contaminació mínima i resistència química, com ara l'epitàxia, el creixement de cristalls i la deposició química de vapor (CVD). En proporcionar una barrera químicament inert i una resistència tèrmica excepcional, els gresols recoberts de TaC garanteixen la integritat del procés, la puresa del material i la longevitat dels equips en diverses etapes de fabricació d'alta demanda.

Amb dimensions personalitzables, gruixos de recobriment i suport per a lots petits, Semixlab ofereix solucions a mida per satisfer les demandes de la fabricació de semiconductors avançats. Esperem sincerament convertir-nos en el vostre soci a llarg termini a la Xina.

avantatge competitiu

Avantatges clau: les propietats físiques del carbur de tàntal

El carbur de tàntal (TaC) és conegut pel seu punt de fusió ultra alt (~3880 °C), la seva duresa excepcional i la seva inertícia química, cosa que el converteix en un recobriment protector ideal per a gresols de grafit utilitzats en entorns semiconductors. L'aplicació del recobriment de TaC aporta els següents avantatges de rendiment:

● Resistència tèrmica extrema

Suporten temperatures ultra altes sense deformació ni degradació, permetent condicions estables per al creixement de cristalls i el processament a alta temperatura.

● Inertisme químic

Resistent a gasos i àcids agressius basats en halògens que s'utilitzen típicament en processos d'epitàxia i gravat, evitant la contaminació creuada.

● Generació mínima de partícules

La superfície densa i llisa de la capa de TaC suprimeix la descamació i el despreniment de partícules, garantint taxes de defectes baixes en entorns de sala blanca.

● Excel·lent conductivitat tèrmica

Assegura una distribució uniforme de la calor durant el processament del material, millorant el rendiment i la consistència.

Materials bàsics dels principals proveïdors

Els nostres gresols es fabriquen amb substrats de grafit d'alta puresa procedents de proveïdors de primer nivell com ara TOYO TANSO (Japó), cosa que garanteix la integritat estructural i la compatibilitat del recobriment. La sinergia entre el grafit premium i el recobriment avançat de TaC millora tant la durabilitat com el rendiment en les condicions més exigents.

els nostres serveis

Botiga de productes Semixlab

indefinit

MISSATGE

Categories populars