Safata RTP de grafit recoberta de SiC CVD

Els sistemes RTP realment passen les safates de suport de les oblies per l'espremedora. A cada cicle, la safata s'escalfa ràpidament i després es refreda amb la mateixa rapidesa, i això passa milers de vegades al llarg de la seva vida útil. Si el material o el procés de fabricació no es controlen acuradament, aquest xoc tèrmic repetit pot fer que la safata es deformi o perdi la forma lentament.

El nostre enfocament no es limita a sobreviure a altes temperatures, sinó a assegurar-nos que les oblies es mantinguin fermament suportades i escalfades uniformement, cicle rere cicle.

Per què el grafit SGL6510?

Aleshores, per què escollim l'SGL6510? Perquè el substrat és l'eix vertebrador de tota la safata. L'SGL6510 és un grafit isostàtic amb una estructura notablement uniforme, una alta conductivitat tèrmica i una baixa expansió tèrmica, la qual cosa ajuda a reduir la tensió interna i a mantenir la safata dimensionalment estable al llarg del temps. Això és especialment important per a safates primes que passen per molts cicles de temperatura.

Després de mecanitzar el grafit a la forma requerida, apliquem un recobriment dens de SiC CVD. Aquest recobriment protegeix la superfície de l'oxidació, la corrosió i el desgast, i també redueix al mínim la generació de partícules.

La planitud importa més que la temperatura

De fet, la majoria de la gent assumeix que el gran repte és si la safata pot suportar 700 °C. Però aquest no és realment el problema: el veritable maldecap és la deformació. Una safata prima de grafit es pot deformar durant el mecanitzat, durant el recobriment o simplement per escalfar i refredar repetidament. Fins i tot un petit canvi de forma pot afectar la posició de l'oblia i la uniformitat de la distribució de la calor.

És per això que el control de la planitud és una de les nostres principals prioritats en tota la fabricació. Utilitzem grafit SGL6510 d'alta qualitat amb una estructura interna uniforme, mantenim les toleràncies de mecanitzat ajustades abans del recobriment, utilitzem un procés CVD de SiC de baixa tensió i comprovem la planitud després de cada etapa important de producció. El resultat: la majoria de les nostres safates aconsegueixen una planitud ≤0.50 mm, i moltes queden encara més planes.

Rendiment del material

El recobriment de SiC CVD no és només una capa fina, sinó que forma una barrera densa i dura que realment allarga la vida útil del grafit que hi ha a sota. En l'ús real, això es tradueix en menys partícules, una excel·lent resistència a l'oxidació i la corrosió i una bona resistència al xoc tèrmic. Aquestes safates estan fabricades per durar en sales blanques de semiconductors.

El nostre gruix de recobriment estàndard és de 100 ± 20 μm, però el podem ajustar si la vostra aplicació requereix alguna cosa diferent.

Per què escollir Semixlab?

Fabricar una safata RTP fiable és més que simplement recobrir grafit amb SiC. Quan la safata és prima, cada detall compta: la precisió del mecanitzat, la tensió del recobriment, la planitud final. Fa anys que treballem amb recobriments de grafit de precisió i SiC CVD, així que entenem com equilibrar aquests factors. El resultat final és una safata que manté la seva geometria, es manté neta i us ofereix una llarga vida útil en producció.

● Producte: Safata RTP de grafit recoberta de SiC CVD

● Material base: Grafit isostàtic SGL6510

● Recobriment superficial: Carbur de silici CVD (SiC)

● Gruix del recobriment: 100 ± 20 μm (personalitzable)

● Temperatura màxima de servei continu: fins a 1400 °C

● Temperatura típica del procés: al voltant de 700 °C

● Planitud: ≤0.20 mm (segons el disseny)

● Disseny personalitzat: disponible

Trobareu aquestes safates en una varietat de processos de semiconductors: RTP, RTA, suport general d'oblies d'alta temperatura i fabricació de sales blanques. La seva funció principal és senzilla: subjectar l'oblia de manera segura i transferir la calor de manera consistent durant tot el cicle tèrmic.

1. Per què és tan important la planitud?

Perquè la safata suporta directament l'oblia durant l'escalfament i el refredament ràpids. Si es deforma encara que sigui una mica, és possible que l'oblia no estigui asseguda uniformement, cosa que pot afectar la distribució de la calor i la repetibilitat del procés.

2. Pot la safata funcionar contínuament a 700 °C?

Sí, 700 °C està dins de la seva zona de confort. La safata està classificada per a un ús continu fins a uns 1400 °C, de manera que 700 °C no és cap problema.

3. Quin gruix de recobriment oferiu?

El nostre estàndard és de 100 ± 20 μm, però el podem adaptar si la vostra aplicació necessita un gruix diferent.

4. Feu safates RTP personalitzades?

Absolutament. Podem treballar a partir dels vostres dibuixos per produir safates amb dimensions específiques, gruix del recobriment, requisits de planitud i qualsevol altra especificació que necessiteu.