Tots els pobles
Revestiment de grafit pirolític (PG).

Revestiment de grafit pirolític (PG).

Inici> Productes > Recobriment CVD > Revestiment de grafit pirolític (PG).

Anell de grafit recobert de carboni pirolític
Anell de grafit recobert de carboni pirolític

Anell de grafit recobert de carboni pirolític


Els anells de grafit recoberts de carboni pirolític de Semixlab estan dissenyats per a entorns d'epitàxia de semiconductors d'alta temperatura on l'estabilitat tèrmica, el control de la puresa i la consistència del procés són crítics. Dissenyats amb un recobriment dens de carboni pirolític sobre substrats de grafit d'alta puresa, aquests components proporcionen una excel·lent resistència química, baixa generació de partícules i una uniformitat tèrmica superior durant el processament de les oblies. Poseu-vos en contacte amb Semixlab avui mateix per explorar solucions personalitzades de grafit recobert de carboni pirolític per a les vostres aplicacions d'epitàxia de semiconductors.

Descripció

L'anell de grafit que es mostra aquí s'utilitza en equips de creixement de cristalls de carbur de silici. Generalment s'instal·la al voltant de la zona del camp tèrmic dins del forn i treballa juntament amb altres parts de grafit durant el procés de creixement del cristall.

Aquest tipus d'anell s'utilitza habitualment en sistemes de creixement PVT on la temperatura del forn es manté extremadament alta durant llargs períodes. A causa de l'entorn operatiu, els usuaris solen substituir l'anell després d'un cert nombre de cicles en lloc d'utilitzar-lo permanentment.

El material base és grafit mecanitzat amb una capa superficial de PyC. En comparació amb el grafit sense tractar, la superfície recoberta és més estable durant el funcionament a alta temperatura i és menys probable que alliberi partícules dins de la cambra.

En la producció pràctica, molts clients compren aquests anells repetidament com a part del manteniment rutinari del forn i la planificació de la producció.

Característiques del producte

Procés de creixement de cristalls de SiC

Capa superficial de PyC

S'aplica un recobriment de carboni pirolític a la superfície de grafit per millorar l'estabilitat en condicions d'alta temperatura.

Per al creixement de cristalls de SiC

S'utilitza principalment en forns de creixement de cristalls de carbur de silici i sistemes de camp tèrmic relacionats.

Condició superficial estable

El recobriment ajuda a mantenir una superfície de treball neta durant cicles d'escalfament llargs.

Producció per lots repetida

Es poden subministrar les mateixes especificacions contínuament per a clients que operen diversos forns.

Mecanitzat segons dibuixos

La mida i l'estructura es poden ajustar segons els diferents dissenys de forns.


Producció i subministrament

Diferents estructures de forn requereixen diferents configuracions de grafit, de manera que la majoria dels anells es produeixen segons els dibuixos dels clients o mostres existents.

Durant la fabricació, les dimensions i el gruix del recobriment es comproven abans de l'enviament. Per als clients que utilitzen grans quantitats en producció contínua, la repetibilitat estable entre lots sol ser una de les principals preocupacions.

Alguns usuaris només demanen unes poques peces per provar-les, mentre que d'altres compren quantitats més grans regularment per a un ús en producció a llarg termini.

Semixlab

Semixlab subministra productes de grafit i grafit recobert que s'utilitzen en les indústries de semiconductors i creixement de cristalls. Els productes es poden fabricar segons els requisits de l'aplicació, l'estructura del forn i les especificacions del client.

Especificacions

Informació Tècnica

Paràmetre de recobriment de carboni pirolític (PyC)
Article unitat valor
Estructura de cristall Hexagonal
Alineació Orientat o no orientat al llarg de la direcció 001
Densitat a granel g / cm3 ~ 2.25
Microstructura Grafè policristal·lí/multicapa
Duresa GPa 1.2
Mòdul elàstic GPa 11
Gruix típic um 30±5um
Superfície superficial um 1.5
Puresa del producte ppm ≤5ppm
Aplicacions

-Creixement de cristalls de carbur de silici

-Sistemes de forns PVT

-Conjunts de grafit de camp tèrmic

-Components de forn d'alta temperatura

-Peces consumibles de grafit

els nostres serveis

Botiga de productes Semixlab

indefinit

MISSATGE

Categories populars