Anell de grafit recobert de carboni pirolític
Els anells de grafit recoberts de carboni pirolític de Semixlab estan dissenyats per a entorns d'epitàxia de semiconductors d'alta temperatura on l'estabilitat tèrmica, el control de la puresa i la consistència del procés són crítics. Dissenyats amb un recobriment dens de carboni pirolític sobre substrats de grafit d'alta puresa, aquests components proporcionen una excel·lent resistència química, baixa generació de partícules i una uniformitat tèrmica superior durant el processament de les oblies. Poseu-vos en contacte amb Semixlab avui mateix per explorar solucions personalitzades de grafit recobert de carboni pirolític per a les vostres aplicacions d'epitàxia de semiconductors.
Descripció
L'anell de grafit que es mostra aquí s'utilitza en equips de creixement de cristalls de carbur de silici. Generalment s'instal·la al voltant de la zona del camp tèrmic dins del forn i treballa juntament amb altres parts de grafit durant el procés de creixement del cristall.
Aquest tipus d'anell s'utilitza habitualment en sistemes de creixement PVT on la temperatura del forn es manté extremadament alta durant llargs períodes. A causa de l'entorn operatiu, els usuaris solen substituir l'anell després d'un cert nombre de cicles en lloc d'utilitzar-lo permanentment.
El material base és grafit mecanitzat amb una capa superficial de PyC. En comparació amb el grafit sense tractar, la superfície recoberta és més estable durant el funcionament a alta temperatura i és menys probable que alliberi partícules dins de la cambra.
En la producció pràctica, molts clients compren aquests anells repetidament com a part del manteniment rutinari del forn i la planificació de la producció.
Característiques del producte

Capa superficial de PyC
S'aplica un recobriment de carboni pirolític a la superfície de grafit per millorar l'estabilitat en condicions d'alta temperatura.
Per al creixement de cristalls de SiC
S'utilitza principalment en forns de creixement de cristalls de carbur de silici i sistemes de camp tèrmic relacionats.
Condició superficial estable
El recobriment ajuda a mantenir una superfície de treball neta durant cicles d'escalfament llargs.
Producció per lots repetida
Es poden subministrar les mateixes especificacions contínuament per a clients que operen diversos forns.
Mecanitzat segons dibuixos
La mida i l'estructura es poden ajustar segons els diferents dissenys de forns.
Producció i subministrament
Diferents estructures de forn requereixen diferents configuracions de grafit, de manera que la majoria dels anells es produeixen segons els dibuixos dels clients o mostres existents.
Durant la fabricació, les dimensions i el gruix del recobriment es comproven abans de l'enviament. Per als clients que utilitzen grans quantitats en producció contínua, la repetibilitat estable entre lots sol ser una de les principals preocupacions.
Alguns usuaris només demanen unes poques peces per provar-les, mentre que d'altres compren quantitats més grans regularment per a un ús en producció a llarg termini.
Semixlab
Semixlab subministra productes de grafit i grafit recobert que s'utilitzen en les indústries de semiconductors i creixement de cristalls. Els productes es poden fabricar segons els requisits de l'aplicació, l'estructura del forn i les especificacions del client.
Especificacions
Informació Tècnica
| Paràmetre de recobriment de carboni pirolític (PyC) | ||
| Article | unitat | valor |
| Estructura de cristall | Hexagonal | |
| Alineació | Orientat o no orientat al llarg de la direcció 001 | |
| Densitat a granel | g / cm3 | ~ 2.25 |
| Microstructura | Grafè policristal·lí/multicapa | |
| Duresa | GPa | 1.2 |
| Mòdul elàstic | GPa | 11 |
| Gruix típic | um | 30±5um |
| Superfície superficial | um | 1.5 |
| Puresa del producte | ppm | ≤5ppm |
Aplicacions
-Creixement de cristalls de carbur de silici
-Sistemes de forns PVT
-Conjunts de grafit de camp tèrmic
-Components de forn d'alta temperatura
-Peces consumibles de grafit
els nostres serveis

Botiga de productes Semixlab


EN
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ




