Mandril de buit de ceràmica porosa

El mandril de buit ceràmic és un dispositiu d'adsorció al buit d'alt rendiment dissenyat per a l'adsorció i fixació de precisió d'oblies i lingots. Adopta una estructura composta d'anell exterior porós de ceràmica + metall, combinada amb un disseny personalitzat de canals d'aire i porus per aconseguir una distribució uniforme de la força d'adsorció i una alta estabilitat. Apte per a la fabricació de semiconductors, el tall d'oblies, el mecanitzat de precisió i altres escenaris, suporta entorns de moviment d'alta temperatura i alta velocitat, pot complir els requisits de compatibilitat de diverses mides d'oblies/lingots.

Servei personalitzat

Personalització de la mida i la càrrega

Optimització d'estomes i vies respiratòries

Adaptació a l'entorn especial

Exemple de disseny

Fabricació de semiconductors

Creixement epitaxial: Adsorció estable de les oblies de SiC a altes temperatures per evitar la deformació i la contaminació.

Litografia i gravat: posicionament precís a la plataforma mòbil d'alta velocitat (acceleració ≤10G) per garantir la precisió de l'alineació gràfica.

Processament de lingots

Tall i mòlta: Adsorció de lingots de cristall pesat (com ara safir, lingots de carbur de silici) per suprimir l'esquerdament de les vores causat per la vibració.

Recerca científica i tecnologia especialitzada

Recuit a alta temperatura: les ventoses poroses de carbur de silici funcionen durant molt de temps a 1600 °C, sense deformació ni contaminació per ventilació.

Recobriment al buit: disseny d'alta estanquitat, compatible amb l'entorn de cavitat PVD/CVD.

Estructura del nucli i avantatges del material

1. Disseny compost multicapa

Capa superficial: ceràmica porosa (carbur de silici porós o grafit porós opcional), obertura ajustable (10-200 μm) per garantir una transferència uniforme de la força d'adsorció a la superfície de la oblia per evitar la concentració local d'estrès.

Matriu: Estructura metàl·lica d'alta rigidesa (acer inoxidable o aliatge d'alumini) per proporcionar suport estructural i estanquitat.

Via respiratòria i porus: La xarxa interna de vies respiratòries mecanitzades amb precisió i microporus distribuïts uniformement permeten una extracció ràpida al buit (força d'adsorció de fins a -90 kPa) i una alliberació instantània.

2. Comparació de les propietats dels materials

3. Paràmetres clau de rendiment i tècnics

P: Com triar un mandril de carbur de silici porós i un mandril de grafit porós? Quines són les principals diferències entre el carbur de silici porós i el mandril de grafit porós en processos d'alta temperatura? Com ​​triar el material adequat per a l'escenari d'aplicació?

A: Mandril de carbur de silici porós:

Resistència a la temperatura: pot funcionar de manera estable a temperatures extremes ≤1600 °C (com ara epitaxial de SiC, recuit d'alta temperatura), excel·lent resistència al xoc tèrmic, adequada per a l'escena de fluctuacions dràstiques de temperatura.

Resistència a la corrosió: resisteix l'erosió forta d'àcids, àlcalis i plasma, adequada per a gravats, implantació d'ions i altres processos de gasos corrosius.

Mandril de grafit porós:

Conductivitat tèrmica: conductivitat tèrmica més alta (200-400 W/m·K), adequada per a escenaris que requereixen una transferència de calor ràpida (com ara la dissipació de calor del tall de les oblies).

Economia: Baix cost, adequat per a ambients de temperatura mitjana ≤800 °C (com ara envasos, mòlta).

Suggeriments de selecció:

Si la temperatura del procés és > 800 °C o es requereix resistència a la corrosió, es prefereix el carbur de silici porós; si es busca una temperatura de procés rendible i baixa, es pot triar el grafit porós.