EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Oblies piezoelèctriques PZT
Amb el creixement explosiu de les comunicacions 5G, la medicina de precisió i els dispositius intel·ligents portàtils, la demanda del mercat de transductors MEMS d'alta sensibilitat i baixa potència està augmentant. Les nostres oblies piezoelèctriques (PZT sobre Si/SOI) utilitzen processos avançats de deposició de pel·lícula fina per aconseguir una uniformitat excepcional i propietats piezoelèctriques superiors en substrats de silici, servint com a nucli fonamental per a una conversió d'energia electromecànica eficient.
Descripció
Serveis personalitzats
A més d'oferir oblies PZT estandarditzades de 8 polzades, oferim àmplies capacitats de personalització adaptades als requisits específics dels nostres clients:
● Diversitat de substrats: Admetem la deposició tant en oblies de Si com en oblies de SOI (amb resistivitat > 5000 ohms/cm).
● Personalització de pel·lícules primes: es poden ajustar tipus i gruixos específics de pel·lícules primes per complir les especificacions de disseny.
● Dimensionament flexible: Oferim capacitats de processament per a formats d'oblies de 6 i 8 polzades.
● Oblies subministrades pel client: Acceptem substrats proporcionats pel client per al creixement de pel·lícules primes piezoelèctriques.
El vostre soci tècnic: Ens comprometem a proporcionar un suport integral, des del creixement del material fins a la personalització estructural. Tant si us trobeu en la fase d'R+D del laboratori com en la fase de producció en massa, el nostre equip tècnic està preparat per proporcionar les solucions piezoelèctriques que millor s'adaptin a les vostres necessitats.
Especificacions
Els nostres productes estàndard es fabriquen mitjançant processos de 6 i 8 polzades, amb dissenys estructurals multicapa sofisticats que garanteixen un rendiment estable en fluxos de treball complexos de fabricació de MEMS.
Paràmetres d'estructura de capes (estàndard de 8 polzades)
| capa | Espessor | Nota |
| Elèctrode superior | personalitzat | Elèctrode superior |
| Capa piezoelèctrica | personalitzat | Capa piezoelèctrica central |
| Capa de memòria intermèdia | personalitzat | Capa de control d'orientació del gra |
| Elèctrode inferior | 100 nm ± 10% | Elèctrode inferior |
| Capa d'adhesió | personalitzat | Capa d'adhesió |
| Substrat | personalitzat | Opcions disponibles de 4/6/8 polzades |
Indicadors clau de rendiment (característiques)
● Constant piezoelèctrica (d31): 200 pC/N: garanteix una sortida de desplaçament mecànic altament eficient.
● Coeficient piezoelèctric (e31): −15 C/m²: proporciona una resposta de càrrega elèctrica molt sensible.
● Alta uniformitat: Verificada mitjançant anàlisi de difracció XRD, la pel·lícula PZT presenta una forta orientació (100), cosa que garanteix una uniformitat de rendiment excepcional a tota la oblia.
| Característiques de PZT | Policristall PZT |
| Constant piezoelèctrica d31 | 200 pC/N |
| coeficient piezoelèctric e31 | -14 °C/m² |
| Temperatura de Curie | X ℃ |
Imatge SEM i XRD
Aplicacions
Cinc àrees d'aplicació clau
1. Transductors ultrasònics piezoelèctrics (pMUT)
Aprofitant l'alta constant piezoelèctrica de les pel·lícules primes de PZT per crear matrius d'ultrasons miniaturitzades d'alta freqüència. S'aplica àmpliament en el reconeixement d'empremtes dactilars sota la pantalla, la detecció de gestos i els sistemes de radar ultrasònic per a automòbils.
2. Filtres i comunicacions de radiofreqüència (MEMS de radiofreqüència)
En els sistemes de comunicació 5G i 6G, els materials piezoelèctrics d'alt rendiment són fonamentals per a la fabricació de filtres FBAR i SAW, permetent amplades de banda més àmplies i pèrdues d'inserció més baixes.
3. MEMS acústics (altaveus/micròfons)
Potencia els altaveus MEMS amb una resposta transitòria i uns nivells de pressió sonora (SPL) superiors, alhora que augmenta la relació senyal-soroll (SNR) dels micròfons MEMS per permetre la captura d'àudio d'alta definició.
4. Control de fluids de precisió (capçals d'impressió de raig de tinta)
Utilitzant vibracions d'alta velocitat en el mode d31 per aconseguir una precisió a nivell de nanolitres en el control del volum de gotes de tinta; serveix com a component principal d'actuació per a sistemes d'impressió de raig de tinta d'alta resolució i de qualitat industrial.
5. Estètica mèdica i micropumping
Impulsant nebulitzadors mèdics i bombes ultrasòniques estètiques. Aprofitant la mida compacta i l'alta fiabilitat de les pel·lícules primes PZT, permetem l'atomització eficient i l'administració precisa de medicaments líquids.
