Vaixell de SiC d'alta puresa

El vaixell de carbur de silici (SiC) d'alta puresa és un portador ceràmic d'alt rendiment dissenyat per a processos de semiconductors d'alta temperatura, creixement de cristalls i tractament tèrmic de precisió. Està sinteritzat amb material SiC d'ultra alta puresa i té una excel·lent resistència a altes temperatures, resistència al xoc tèrmic i estabilitat química. S'utilitza àmpliament en difusió de semiconductors, CVD, epitaxia de LED i creixement de monocristalls fotovoltaics.

aplicació:

El SiC Boat d'alta puresa és un consumible clau en processos de semiconductors, que s'utilitza principalment per transportar i transferir oblies en entorns d'alta temperatura, i s'utilitza àmpliament en processos de difusió, oxidació, recuit i CVD d'oblies de silici. És especialment adequat per a processos d'alta temperatura de semiconductors de tercera generació (com ara SiC/GaN) i dispositius d'alimentació.

Serveis que es poden oferir:

Anàlisi d'escenaris d'aplicació del client, materials compatibles, resolució de problemes tècnics.

Perfil de la companyia:

Semixlab disposa de 2 laboratoris, un equip d'experts amb 20 anys d'experiència en materials, amb capacitats d'R+D i producció, proves i verificació.

paràmetres tècnics

Principals camps d'aplicació

Aval de verificació de la cadena ecològica

La verificació de la cadena ecològica de Semixlab High-Purity SiC Boat abasta des de les matèries primeres fins a la producció, ha superat la certificació estàndard internacional i compta amb diverses tecnologies patentades per garantir la seva fiabilitat i sostenibilitat en els camps dels semiconductors i les noves energies.

Procés de sol·licitud típic

Preparació de la matèria primera (pols de SiC d'alta puresa) → Procés de conformació (premsat en sec/premsat isostàtic) → Procés de sinterització → Mecanitzat i acabat superficial (mòlta/poliment CNC, gravat químic, recuit) → Purificació i recobriment CVD → Control de qualitat → Envasat

Gràcies a l'optimització d'avantguarda dels paràmetres de procés, el disseny estructural únic de la barca de SiC d'alta puresa de Semixlab garanteix una excel·lent estabilitat de les oblies alhora que redueix significativament el risc de contaminació per partícules. La seva vida útil pot arribar a ser de 5 a 8 vegades superior a la de les barques de quars tradicionals, cosa que la converteix en una solució ideal per al processament d'oblies a alta temperatura. Aquesta innovació li permet substituir gradualment les importacions al mercat dels semiconductors, proporcionant una solució nacional d'alt rendiment i rendible.

Per obtenir especificacions tècniques detallades, informes tècnics o acords per a proves de mostres, poseu-vos en contacte amb el nostre equip d'assistència tècnica per explorar com Semixlab pot millorar l'eficiència del vostre procés.

Avantatges del nucli del vaixell de SiC d'alta puresa de Semixlab

1. Puresa extrema (avantatge clau)

La barca de SiC d'alta puresa de Semixlab té una puresa ultraalta (≥99.9999%), i el contingut d'impureses (Fe, Al, Na, etc.) es controla al nivell d'1 ppm per evitar la contaminació de les oblies o materials epitaxials, cosa que és especialment adequada per a la fabricació de semiconductors de SiC/GaN.

2. Inertisme químic (resistència a la corrosió)

Resistent a l'erosió àcida, àlcali/plasma i pot resistir gasos corrosius com HF, HCl, H2 (com ara processos de gravat de semiconductors). No s'allibera gas a altes temperatures.

3. Resistència mecànica i vida útil

Duresa ultraalta, excel·lent resistència al desgast, redueix el risc de despreniment de partícules i allarga la vida útil (normalment de 3 a 5 vegades la d'una barca de quars). No es deforma fàcilment a altes temperatures, mantenint la planitud de la oblia (com ara la deformació en un forn de difusió <0.1 mm).

4. Compatibilitat de processos

Adaptable a una varietat d'entorns durs, atmosferes d'oxidació/reducció (com ara O2, H2, Ar) i processos de recobriment CVD/PVD. La superfície es pot personalitzar, com ara polit (Ra <0.1 μm) o recobriment (com ara SiO2) per reduir encara més la contaminació.