Portador de vaixells de quars amb oblea

El suport per a vaixells de quars Semixlab és una eina de transport d'alt rendiment dissenyada per a les indústries de semiconductors, fotovoltaica, LED i electrònica de precisió. Està fet de material de quars sintètic d'alta puresa. Com a consumibles principals en processos d'alta temperatura, els suports per a vaixells de quars s'han convertit en els portadors ideals per a oblies, oblies de silici, substrats de vidre i altres components de precisió en difusió, recuit, oxidació, CVD (deposició química de vapor) i altres processos a causa de la seva excel·lent estabilitat tèrmica, inertícia química i vida útil ultrallarga, ajudant els clients a aconseguir processos de producció eficients i estables.

Escenaris o equips d'aplicació: 

Difusió de semiconductors, recuit, oxidació i procés de CVD (deposició química de vapor).

Força de l’empresa

Semixlab Technology Co., Ltd té 2 centres d'R+D, 2 bases de producció, 12 línies de producció, més de 150 empleats i una inversió en R+D de més del 30%. El disseny del nostre producte s'utilitza principalment en LED, circuits integrats IC, semiconductors de tercera generació, fotovoltaica i altres indústries. Semixlab té fortes capacitats d'R+D, producció i proves i verificació integrades. Al mateix temps, millorem constantment la nostra tecnologia i equips amb una inversió de desenes de milions de dòlars anuals.

Serveis a mida

Per satisfer diverses necessitats, oferim serveis de personalització flexibles i admetem els següents ajustos de paràmetres:

Especificacions de mida: s'adapten a diferents substrats com ara 8 polzades i 12 polzades, o personalitzen estructures de formes especials segons els dibuixos del client.

Tractament superficial: sorrejat opcional, recobriment (com ara recobriment de carbur de silici) i altres processos per millorar l'aplicabilitat en escenaris específics.

Integració d'accessoris: es pot combinar amb pilars de quars, deflectors i altres components per formar un sistema de transport complet.

Sistema de garantia de qualitat

Prova de matèries primeres: sorra de quars d'alta puresa importada, analitzada per ICP-MS (espectrometria de masses amb plasma d'acoblament inductiu).

Control de processos: mecanitzat de precisió CNC + proves automatitzades, tolerància de dimensió clau ≤±0.05 mm.

Embalatge net: embalatge ambiental ultra net de classe 100 per evitar la contaminació durant el transport.

Escenaris d'aplicació típics

Fabricació de semiconductors: s'utilitza per a processos de recuit a alta temperatura, oxidació i deposició de pel·lícules primes de oblies en forns de difusió i forns verticals.

Indústria fotovoltaica: Transport i transmissió de cèl·lules PERC i TOPCon en PECVD, difusió de fòsfor i altres processos.

Epitaxia LED: Posicionament precís i creixement epitaxial a alta temperatura de substrats de safir en equips MOCVD.

Camp de recerca: Sinterització i assaig de materials en forns de laboratori d'alta temperatura i entorns de buit.

1. Excel·lent resistència a les altes temperatures

El suport de vaixell de quars pot suportar ambients d'alta temperatura superiors a 1200 ℃ durant molt de temps, amb un coeficient d'expansió tèrmica extremadament baix (aproximadament 5.5 × 10⁻⁷/℃). Encara pot mantenir l'estabilitat estructural en condicions de refredament i escalfament ràpids, evitant esquerdes o deformacions causades per l'estrès tèrmic i garantint la repetibilitat del procés.

2. Puresa ultraalta i inertisme químic

Fet de sorra de quars d'alta puresa del 99.99% o més, sense precipitacions, sense contaminació, evita eficaçment que els ions metàl·lics o les impureses de partícules contaminin la superfície de la oblia a alta temperatura, especialment adequat per a processos avançats amb requisits estrictes de neteja (com ara la fabricació de xips per sota de 7 nm).

3. Disseny estructural de precisió

La superfície del suport del vaixell està polida amb alta precisió (rugositat Ra≤0.2μm), equipada amb una estructura de ranura patentada, que pot suportar de manera estable substrats de diverses mides (com ara oblies de 8/12 polzades), garantint un escalfament uniforme i una circulació de gas, i millorant la uniformitat del procés.

4. Vida útil ultra llarga

En comparació amb els suports tradicionals de grafit o ceràmica, els materials de quars tenen una forta resistència a la corrosió, una baixa taxa de pèrdues en atmosferes àcides/alcalines i un cicle d'ús continu que pot arribar als 12-24 mesos, cosa que redueix significativament els costos integrals del client.