Vaixell de galeta recobert de SiC CVD per oxidació i difusió

A Semixlab, fabriquem plaques de recipients recobertes de SiC per a entorns de semiconductors exigents, on la consistència, la neteja i una llarga vida útil són realment importants.

Comencem amb ceràmica de carbur de silici d'alta puresa (ceràmica SiC, puresa superior al 99.9%) i apliquem un recobriment dens de carbur de silici CVD (CVD SiC) amb una puresa de 6N. D'aquesta manera, les nostres embarcacions mantenen la seva estabilitat estructural fins i tot després d'escalfaments i refredaments repetits, i ajuden a reduir els riscos de contaminació durant la producció.

Què és, de totes maneres, una oblea recoberta de SiC?

Una "oblea boat" és bàsicament un portador que sosté diverses oblies durant el processament tèrmic. Manté les oblies a la distància i el suport correctes, alhora que assegura que la calor es transfereixi uniformement entre elles.

En comparació amb els portadors d'oblies de grafit convencionals, les barquetes ceràmiques avançades per a oblies de SiC ofereixen una millor estabilitat tèrmica, control de la puresa i resistència a l'oxidació en entorns de forns de semiconductors. Però en condicions agressives de semiconductors, amb el temps, es poden produir problemes com l'oxidació superficial, el despreniment de partícules o l'erosió química.

És per això que la gent sovint opta per un recobriment de SiC.

La capa de carbur de silici forma una densa capa protectora sobre la superfície del grafit. Millora:

-Resistència a l'oxidació

-Resistència a la corrosió química

-Duresa superficial

-Control de partícules

-Quant dura la peça

És per això que les plaques de decantació per oblea recobertes de SiC amb CVD s'utilitzen àmpliament en forns d'oxidació, forns de difusió i altres sistemes de processament tèrmic d'alta neteja.

Característiques principals de les barquetes de làmines recobertes de SiC de Semixlab

Superfície d'alta puresa

Les impureses poden afectar directament el rendiment de la teva oblia. Optimitzem el nostre procés de recobriment per a una puresa de grau semiconductor, de manera que podem ajudar a minimitzar la contaminació metàl·lica durant la producció.

Gran estabilitat tèrmica

Durant el processament d'oxidació i difusió, les plaques de formigó han de mantenir l'estabilitat dimensional i les superfícies ultra netes sota cicles repetits d'alta temperatura. Les nostres plaques de formigó estan dissenyades per mantenir les seves dimensions durant cicles repetits d'escalfament i refredament.

Baixa generació de partícules

Com que la superfície es densifica, s'exposa menys grafit, cosa que significa que es desprenen menys partícules i s'obté un entorn de procés més net.

Cobertura uniforme del recobriment

Les estructures de ranures i cantonades complexes necessiten un gruix de recobriment consistent. El nostre procés de recobriment intern ens ajuda a aconseguir una millor uniformitat superficial a tota la peça.

Capacitat de mecanitzat personalitzat

Diferents plataformes d'equipament necessiten dimensions diferents. Admetem dissenys personalitzats basats en els vostres dibuixos o requisits del procés.

Fabricació i control de qualitat

Cada vaixell d'oblies se sotmet a un mecanitzat ceràmic de precisió, preparació de la superfície i deposició de recobriment de SiC CVD d'alta puresa.

A Semixlab, cada part passa per:

-Inspecció de matèries primeres

-Mecanitzat CNC de precisió

-Tractament de neteja de superfícies

-Recobriment CVD de SiC

-Verificació dimensional

-Aspecte final i inspecció de qualitat

Fem això perquè obtingueu un rendiment fiable abans que la peça entri a l'eina.

Per què triar Semixlab?

Som un fabricant especialitzat de grafit semiconductor i components de recobriment. Ajudem els clients amb:

-Tecnologia de recobriment pròpia

-Producció flexible a mida

-Comunicació ràpida d'enginyeria

-Coneixement dels processos dels semiconductors

-Capacitat de subministrament internacional estable

Tant si esteu desenvolupant equips, gestionant una línia pilot o fent producció en massa, el nostre equip d'enginyeria pot donar suport a les vostres necessitats d'aplicació.

Si busqueu un proveïdor fiable de plaques de recipients recobertes de SiC, Semixlab us pot oferir solucions personalitzades basades en els vostres dibuixos o condicions de procés.

Les especificacions reals es poden ajustar segons les condicions de l'aplicació.

Les nostres barquetes de làmines recobertes de SiC s'utilitzen àmpliament en:

● Forns d'oxidació de semiconductors

● Forns de difusió de semiconductors

● Sistemes de recuit tèrmic

● Equips de tractament tèrmic de semiconductors

● Aplicacions avançades d'R+D en semiconductors

● Processos de recuit

● Recerca de materials semiconductors d'alta temperatura