Prevenció de la contaminació en l'emmagatzematge de peces recobertes per CVD d'alta puresa

El problema de produir de manera neta Matèria primera de SiC CVD d'alta puresa Les peces, i mantenir-les netes des de la fabricació fins a la instal·lació en un sistema d'epitàxia, també és important. Una quantitat insignificant de pols i contaminació que s'acumula durant l'emmagatzematge pot provocar defectes a les oblies i disminuir el rendiment durant la producció quan el sistema s'inicia. Sovint, els problemes s'originen en l'emmagatzematge, no en el procés de fabricació en si. Com a exemple de contaminació de l'emmagatzematge, els enginyers van notar que les peces del susceptor netejades s'havien contaminat quan s'emmagatzemaven per una porta de taller oberta; la inestabilitat durant la producció es va produir quan l'equip es va tornar a posar en funcionament.

Estàndards d'embalatge per a sales blanques per a peces de recobriment CVD SiC i CVD TaC

L'envasament adequat d'alta puresa Recobriment CVD Sic or Tac de malalties cardiovasculars Les peces recobertes són més que només prevenir danys físics; serveixen per protegir la superfície neta que s'aconsegueix durant el recobriment. Les traces de partícules que no es poden veure a simple vista poden afectar negativament la qualitat de l'oblea durant l'epitàxia.

El primer pas de qualsevol procediment d'embalatge ha de tenir lloc en una sala blanca, que tingui una pressió positiva i un entorn net mantingut amb filtres d'aire d'alta eficiència. Sempre s'ha de portar roba de sala blanca, incloses les mascaretes, i s'han de portar guants sense pols en tot moment per evitar la transferència de partícules de pell, pols o fibres als components.

Els materials utilitzats per a l'embalatge també són crítics. Normalment s'utilitzen dues capes de bosses de plàstic per a sales blanques per protegir doblement els components; tanmateix, per a peces extremadament delicades es pot utilitzar un embalatge al buit o al nitrogen per minimitzar encara més la humitat i els contaminants atmosfèrics. L'escuma protectora utilitzada també ha de ser un material apte per a sales blanques i de baixa desgasificació per evitar que s'alliberin contaminants addicionals de l'emmagatzematge al component.

Un cop segellats, els components només s'han de treure de l'entorn d'embalatge a la sala blanca, i no en un taller obert. Obrir un component mal embalat pot tornar-lo a contaminar fins al punt que calgui netejar-lo de nou.

Amb un embalatge adequat, els components es mantindran nets per al seu ús en la producció.

Mètodes de manipulació adequats per a peces epitaxials de grafit d'alta puresa

Tot i que les peces de grafit d'alta puresa semblen molt duradores, són propenses a atrapar brutícia, oli i humitat a la superfície. Aquests contaminants poden passar desapercebuts durant tota la vida útil de les peces, però poden afectar l'epitàxia en etapes posteriors.

La manipulació de les peces s'ha de fer sempre amb guants de nitril nets i sense pols. No s'ha de tenir mai contacte amb les mans nues amb cap de les peces, ja que els greixos de la pell s'adheriran a la superfície de la peça en quantitats molt petites i poden ser difícils d'eliminar de la superfície més endavant.

Les peces també s'han de manipular amb cura. Simplement agafar-les d'una taula per les vores pot deixar esquerdes microscòpiques a la peça que poden no ser evidents immediatament però que poden aparèixer després d'uns quants cicles d'escalfament, i tot i que no sempre es pot veure, hi pot haver partícules generades dins del reactor.

També heu d'estar en un entorn adequat i net per a l'aplicació específica de manipulació. Si es manipulen peces i es deixen al banc de treball, no les heu de deixar reposar sobre una taula metàl·lica, cartró o una superfície de plàstic crua, ja que poden desprendre pols i fibres sobre la peça.

També s'ha de tenir en compte el flux d'aire durant la manipulació de peces. La pols que surt bufant sobre la peça des d'un ventilador, o si una porta està oberta, es pot acumular a les peces i, per tant, moltes instal·lacions realitzen les seves operacions de manipulació de peces sota un banc de flux laminar o en una zona neta.

Riscos d'humitat i oxidació durant l'emmagatzematge de components a llarg termini

Tot i que les peces (que estaven fetes de grafit d'alta puresa) semblaven ser de molt alta qualitat, és relativament fàcil que la brutícia, l'oli i la humitat s'acumulin a la superfície de les peces i que aquestes romanguin indetectables durant tota la vida útil de les peces, però que influeixin en l'epitàxia en una etapa posterior.

La manipulació de les peces s'ha de fer sempre amb guants de nitril nets i sense pols. No s'han de tocar mai les peces amb les mans nues, ja que els greixos de la pell s'adhereixen a la superfície de la peça en quantitats molt petites i són extremadament difícils de treure més endavant.

A més, les peces sempre s'han de manipular amb molta cura. Fins i tot agafant les peces del banc de treball per les vores es podrien crear esquerdes microscòpiques a la peça que no serien visibles fins que la peça no hagi passat per uns quants cicles tèrmics, i tot i que no es podrien veure les esquerdes, sí que es podrien produir partícules dins del reactor.

També hauríeu d'intentar estar en un entorn adequat i net per a l'aplicació en qüestió. La manipulació i el fet de deixar les peces estirades sobre la taula de treball només són acceptables si no es deixen sobre una taula de treball metàl·lica, cartró o una superfície de plàstic no preparada, ja que les partícules de pols es desprendran sobre la peça.

També s'ha de tenir en compte el flux d'aire, ja que les partícules de pols que es bufen sobre la peça a través del ventilador o des de l'exterior a causa d'una porta oberta podrien adherir-se a la peça, i per això moltes empreses utilitzen bancs de flux laminar o una sala blanca per dur a terme aquests processos de manipulació de peces.

Protecció durant el transport per a grans susceptors i discs flotants de gas

Els susceptors grans i els discs flotants de gas, tot i ser components grans, encara es poden danyar durant el transport si no estan suportats correctament.

La majoria dels danys durant el transport es deuen a vibracions i pressió desigual, en comptes d'un accident important. Els components grans han d'estar completament recolzats al contenidor d'enviament i qualsevol inclinació o fins i tot pressió cap a un costat durant el viatge durant períodes prolongats pot causar deformacions del component, cosa que serà perjudicial per al reactor.

Per protegir les peces grans, cal que estiguin completament recolzades amb material d'embalatge net per distribuir la càrrega per tot el component dins de la caixa i embalades per absorbir les vibracions.

També cal tenir en compte la protecció contra la humitat. Si s'hi inclouen bosses interiors segellades i dessecant, es pot evitar l'acumulació de condensació durant el procés d'embalatge, desembalatge i enviament.

Les caixes també s'han de moure amb carretons elevadors i equips d'elevació mantenint-se relativament anivellades i pressionant la caixa per no desplaçar la càrrega interna durant la fase de transport.

Estàndards d'inspecció entrants abans de la instal·lació del reactor d'epitàxia

L'última oportunitat per detectar problemes amb una peça abans de posar-la en un reactor d'epitàxia és quan es rep la peça.

Tot i que una peça sembli neta després de ser emmagatzemada i enviada, encara hi pot haver contaminants o petits defectes presents que potser no es descobriran fins que el reactor estigui calent.

El procés d'inspecció s'ha de dur a terme en una zona neta, on es pugui obrir l'embalatge sense generar pols. Aleshores, es pot observar la peça de prop sota una llum intensa per detectar defectes, decoloració, cantonades esquerdades o recobriments danyats.

Els components grans, com ara els discs flotants de gas i els susceptors, també s'han d'inspeccionar per verificar la seva planitud i les dimensions adequades, ja que petits canvis en qualsevol d'ells poden causar problemes de rendiment. Moltes instal·lacions també comproven la neteja de la superfície just abans de col·locar la peça al reactor.

Tenir registres detallats de cada peça, inclosos els números de sèrie i les imatges, també pot ser de gran ajuda quan una peça finalment falla o causa problemes més endavant.

Una inspecció exhaustiva d'entrada no només implica rebutjar les peces defectuoses. Permet a l'enginyer trobar problemes menors abans que es converteixin en problemes de producció, cosa que permet una millor estabilitat del procés, menys fallades inesperades i un rendiment més elevat de les oblies.