Ceràmica SiC

Les ceràmiques de SiC s'utilitzen cada cop més en equips de semiconductors, principalment perquè aguanten millor en condicions més dures. Quan la temperatura puja o el procés es torna més agressiu, materials com el quars o el silici poden començar a mostrar límits, i aquí és on sol entrar en joc el SiC. En processos de forn com l'oxidació o la difusió, peces com les galeres o les pales fetes de SiC tendeixen a durar més. Mantenen la seva forma i no aporten gaire contaminació, fins i tot després de llargs períodes de producció. La gent sovint canvia del quars per aquest motiu, sobretot quan el manteniment es torna massa freqüent.

Per al gravat, sovint es tria SiC simplement perquè sobreviu més temps al plasma. La diferència de vida útil en comparació amb les peces de silici és notable en moltes configuracions, tot i que encara depèn del procés exacte. També ajuda una mica amb el control de partícules, que es torna més sensible a mesura que els nodes es redueixen. També veureu SiC utilitzat com a susceptors en MOCVD o CVD. En aquests casos, es tracta menys de "força" i més de mantenir el comportament de la temperatura estable. A part d'això, apareix en peces de cambra com ara revestiments o capçals de dutxa, i de vegades també en la manipulació de components.